真空離子氮化的特點是：
1）滲氮速度較快，可適當縮短滲氮周期，離子氮化時間短，能縮短到氣體氮化時間的1/3～2/3。。
2）滲氮層脆性小，離子氮化表面形成的白層很薄，甚至沒有，另外引起的變形小，特別適宜于形狀復雜的精密零件。
3）易于實現局部氮化，非滲氮部位便于保護，采用機械屏蔽、用鐵板隔斷保護。
4）離子轟擊有凈化表面作用，自動去除鈍化膜，不銹鋼、耐熱鋼材料無需預先去除鈍化膜，可使不銹鋼、耐熱鋼工件直接滲氮。
5）化合物層結構、滲層厚度和組織可以控制。
6）處理溫度范圍較寬，即使在350℃以下也能獲得一定厚度的滲氮層。
7)勞動條件有所改善，無公害、離子滲氮處理在很低的壓力下進行，排出的廢氣極少。
8）可以適用于各種材料，包括要求氮化溫度高的不銹鋼、耐熱鋼，以及氮化溫度較低的工模具(工具鋼)和精密零件，而低溫氮化對氣體氮化來說是相當困難的。
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